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真空泵碳片

化学气相反应法(cvr)

原料为焦炭粉和过量的石英砂或无定形硅粉，当加热到2000℃时发生化学反应，生成sio蒸气。sio蒸气和碳基体反应生成sic。sic层和碳基体二者无明显界面，结合很牢固，在温度骤变及高负荷情况下不会脱落，但cvr法是sio气体渗入碳基体内进行反应，因此，仍然保留了碳基体的多孔性，在用作密封材料时，需用树脂浸渍或cvd法进行孔隙的填充。

真空泵碳精片

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